上海微系统所在300mm SOI晶圆制造技术方面实现重大突破

中国科学院上海微系统所官微消息，近日，上海微系统所魏星研究员团队在300mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展，制备出国内第一片300mm…

by 黄 尘