中国科学院上海微系统所官微消息,近日,上海微系统所魏星研究员团队在300mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展,制备出国内第一片300mm 射频(RF)SOI晶圆。团队基于集成电路材料全国重点实验室300mm SOI研发平台,依次解决300 mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜沉积、非接触式平坦化等诸多核心技术难题,实现国内300mm SOI制造技术从无到有的重大突破。 来源:证券时报 上海微系统 晶圆制造 你可能会喜欢 报告:超半数马来西亚消费者使用AI购物2025/08/08 17:33 任天堂说别多想,每个月玩一款我的游戏就够了2025/08/08 16:26 谷歌想让你用AI助手,为孩子一键生成专属睡前故事书2025/08/08 16:06 马斯克叫停自研芯片2025/08/08 13:40